Media type: Book; Thesis Title: Prozeßinduzierte mechanische Spannungen in TiSi 2 -Schichten während der Temperung in einem RTP-System Contributor: Taddiken, Hans [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1994 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 3 ; 353 Issue: Als Ms. gedr. Extent: IX, 107 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3183353032 RVK notation: ZN 3460 : Halbleiterwerkstoffe Keywords: Halbleitertechnologie > Titansilicide > Dünne Schicht > Tempern > Mechanische Spannung Origination: University thesis: Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1993 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: VN 2003-353 Item ID: 30525970 Status: Loanable