Media type: Book; Thesis Title: PECVD-Prozesse mittels Hohlkathodenglimmentladung Contributor: Hellmich, Anke [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1997 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 3 ; 507 Issue: Als Ms. gedr. Extent: VII, 111 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 318350703X Keywords: Kohlenwasserstoffe > PECVD-Verfahren > Hohlkathodenentladung > Dünne Schicht > Amorpher Zustand > Tribologie Origination: University thesis: Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1997 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: VN 2003-507 Item ID: 30897393 Status: Loanable