Media type: Book; Thesis Title: CMOS-kompatibler kapazitiver Siliziumdrucksensor in Oberflächenmikromechanik Contributor: Kandler, Michael [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1993 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 175 Issue: Als Ms. gedr. Extent: XIII, 133 S.; graph. Darst Language: German ISBN: 3181475092 RVK notation: ZQ 3750 : Wägung, Dichtemessung, Viskosimetrie Keywords: Drucksensor > Siliciumbauelement > CMOS-Schaltung Origination: University thesis: Zugl.: Duisburg, Univ. - Gesamthochsch., Diss Footnote: Literaturverz. S. 131 - 133
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 1701-175 Item ID: 30525192 Status: Loanable