Media type: Book Title: The chemistry of metal CVD Other titles: Nebent.: The chemistry of metal CVD / T. Kodas ; M. Hampden-Smith Contributor: Kodas, Toivo [Hrsg.] imprint: Weinheim; New York; Basel; Cambridge; Tokyo: VCH, 1994 Extent: XXIV, 530 S.; Ill., graph. Darst Language: English ISBN: 3527290710 RVK notation: UQ 7740 : Gasförmige Metalle, Metalldampf VE 9400 : Allgemeines VN 7260 : Allgemeines UP 7560 : Metallische Schichten, Metall-Halbleiter-Kontakt Keywords: CVD-Verfahren CVD-Verfahren Origination: Footnote: Literaturangaben