Media type: Book Title: CVD of compound semiconductors : precursor synthesis, development and applications Contributor: Jones, Anthony C. [Author]; O'Brien, Paul [Author] imprint: Weinheim [u.a.]: VCH, 1997 Extent: XIV, 338 S.; graph. Darst Language: English ISBN: 3527292942 RVK notation: UQ 2160 : Kristallzucht aus der Gasphase, Verdampfungsvorgänge ZN 4150 : Dünnschichttechnologie VE 9300 : Allgemeines UP 7570 : Halbleiter-Schichten Keywords: Verbindungshalbleiter > MOCVD-Verfahren CVD-Verfahren > MOCVD-Verfahren > Halbleitertechnologie Origination: Footnote: Literaturangaben
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 4150 J76 Item ID: 10368381 Status: Loanable