Media type: Book Title: Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization Contributor: Madou, Marc J. [Author] imprint: Boca Raton, Fla. [u.a.]: CRC Press, 2002 Issue: 2. ed. Extent: 723 S.; Ill., graph. Darst; 29 cm Language: English ISBN: 0849308267 RVK notation: ZN 4900 : Allgemeines Keywords: Lithografie > Mikrosystemtechnik > Mikromechanik > Entwurf > Konstruktion Origination: Footnote: 3. Aufl. u.d.T.: Madou, Marc J.: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. - 3. Aufl. in 3 Bd Literaturangaben
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 4900 M183(2) Item ID: 30632103 Status: Loanable
Bestand der TU Dresden Shelf-mark: 2005 4 004855 Item ID: 10566877N Status: Verfügbarkeit bitte in Prof Zelluläre Maschinen BIOTEC erfragen.