Media type: Book; Thesis Title: Untersuchung und Realisierung von taktilen Sensorsystemen unter Verwendung der Oberflächenmikromechanik Contributor: Leineweber, Michael [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 2002 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 348 Issue: Als Ms. gedr. Extent: VI, 122 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: German ISBN: 3183348098 RVK notation: ZQ 3750 : Wägung, Dichtemessung, Viskosimetrie Keywords: Taktiler Sensor > Siliciumsensor > Wafer > CMOS-Schaltung > Mikromechanik > Oberflächenmontage Origination: University thesis: Zugl.: Duisburg, Univ.-Gesamthochsch, Diss., 2001 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 1701-348 Item ID: 30920854 Status: Loanable