Media type: Book; Conference Proceedings Title: Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik : Tagung Stuttgart, 12. und 13. Februar 2003 Corporation: VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik ; Gesellschaft Mess- und Regelungstechnik imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 2003 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte ; 1669 Extent: 202 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3180916699 RVK notation: ZQ 3100 : Allgemeines, Theorie, Messverfahren ZQ 3890 : Messen sonstiger nichtelektrischer Grössen Keywords: Mikrosystemtechnik > Metrologie Nanotechnologie > Metrologie Origination: Footnote: Literaturangaben
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZG 4455-1669 Item ID: 30810199 Status: Loanable