• Media type: Book
  • Title: Silizium-Planartechnologie : Grundprozesse, Physik und Bauelemente
  • Contributor: Wagemann, Hans-Günther [Author]; Schönauer, Tim [Author]
  • Published: Stuttgart; Leipzig; Wiesbaden: Teubner, 2003
  • Published in: Teubner Studienbücher Physik
  • Issue: 1. Aufl.
  • Extent: XVII, 212 S.; Ill., graph. Darst
  • Language: German
  • ISBN: 9783519004677; 3519004674
  • Origination:
  • RVK notation: ZN 4900 : Allgemeines
  • Keywords: Planartechnik > Siliciumbauelement
    Halbleiterphysik > Siliciumbauelement > Planartechnik
  • Description: Inhalt:Technologische Grundprozesse - Grundlagen der Halbleiterphysik für Siliziumbauelemente - Integrierte Widerstände und Kondensatoren - Der pn-Übergang - Der Metall-Halbleiter-Kontakt - Die Halbleiteroberfläche anhand des MOS-Varaktors - Der reale MOS-Transistor - Herstellungsprozess von HalbleiterbauelementenDie Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verständlicher Form vorgestellt. Der Leser erfährt, wie integrierte Schalkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und welche Bauelemente sich realisieren lassen
  • Footnote: Literaturverz. S. [205] - 206

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