Media type: Book Title: Chemical vapour deposition : precursors, processes and applications Contributor: Jones, Anthony C. [HerausgeberIn]; Hitchman, Michael L. [HerausgeberIn] Published: Cambridge: RSC Publishing, [2009] Extent: xv, 582 Seiten; Illustrationen, Diagramme; 25 cm Language: English ISBN: 0854044655; 9780854044658 Origination: RVK notation: UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik Keywords: CVD-Verfahren CVD-Verfahren Footnote: Literaturangaben
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 7680 J76 Item ID: 32940837 Status: Loanable