Media type: E-Book Title: Grundlegende Untersuchungen zum Prozessverhalten von Silizium als Werkzeugwerkstoff für das Mikroscherschneiden metallischer Folien Contributor: Hildering, Sven [Verfasser]; Merklein, Marion [Akademischer Betreuer]; Merklein, Marion [Gutachter]; Schmidt, Michael [Gutachter] imprint: Erlangen: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2017 Published in: Fertigungstechnik - Erlangen ; 295 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Werkstoff ; Silicium ; Werkzeug ; Stempel ; Ingenieurwissenschaften ; Maschinenbau ; Produktionstechnik ; Mikroscherschneiden ; Werkzeugherstellung ; monokristallines Silizium ; Kupferfolie ; Werkzeugauslegung mittels FE-Simulation ; Mikrosystemtechnik Origination: University thesis: Dissertation, Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2016 Footnote: In: mb.fau.de/diss Access State: Open Access