Media type: E-Book; Thesis Title: Contact related Failure Detection of Semiconductor Layer Stacks using an Acoustic Emission Test Method Other titles: Detektion von kontaktinduzierten Beschädigungen an Halbleiterschichten unter Anwendung der Schallemissionsprüfung Contributor: Unterreitmeier, Marianne [Verfasser]; Weigel, Robert [Akademischer Betreuer]; Weigel, Robert [Gutachter]; Pfitzner, Lothar [Gutachter]; Holmer, Rainer [Gutachter] imprint: Erlangen: FAU University Press, 2020 Published in: FAU Forschungen, Reihe B, Medizin, Naturwissenschaft, Technik ; 33 Extent: Online-Ressource Language: English DOI: 10.25593/978-3-96147-306-9 Identifier: Keywords: Wafer > Halbleiterschicht > Schallemissionsanalyse > Rissbildung > Härteeindruck > Werkstoffschädigung > Halbleitertechnologie > Kontaktieren Origination: University thesis: Dissertation, Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2019 Footnote: Access State: Open Access