Media type: E-Book; Thesis Title: Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik Contributor: Sasse, Philipp Wilhelm [Verfasser] Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Rotationssensor > Entwurf > Mikromechanik > Oberflächenmontage > CMOS > Siliciumbauelement Origination: University thesis: Paderborn, Univ., Diss., 2002 Footnote: Access State: Open Access