%0 Book
%T Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikro-elektromechanischen Systemen
%A Hald, Axel
%A Technische Universität Dresden
%7 Als Manuskript gedruckt
%I VDI Verlag GmbH
%I : Technische Universität Dresden, Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design
%@ 9783183473205
%K Hochschulschrift
%K MEMS
%K Kapazitiver Sensor
%K Beschleunigungssensor
%K Drehratensensor
%K Schaltungsentwurf
%K Elektrostatik
%K Parasitäres Element Mikroelektronik
%K Prozesssimulation
%K Ersatzschaltbild
%K Mustererkennung
%D [2020]
%D , [2020]
%D , © 2020
%C VDI Verlag GmbH
%C : Technische Universität Dresden, Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design
%C Düsseldorf
%C ; Dresden
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