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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Entwicklung eines neuartigen BICMOS-Prozesses unter wesentlicher Nutzung der Hochenergie-Ionenimplantation Weitere Titel: Nebent.: BICMOS mit MeV-Ionenimplantation Beteiligte: Harms, Torsten [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1991 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 110 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: IV, 179 S; graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3181410098 Schlagwörter: BICMOS > Ionenimplantation Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Dortmund, Univ., Diss., 1990 Anmerkungen: Literaturverz. S. 171 - 179 Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 9