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Medientyp: Buch Titel: ITM-prozessierte CoSi 2 -Kontakte für großintegrierte CMOS-Schaltungen Beteiligte: Niewöhner, Ludwig [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1991 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 122 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: 112 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3181422096 Schlagwörter: CMOS > Silicide > Ionenimplantation > Source > Drain > Selbstjustierende Technik Entstehung: Anmerkungen: Zugl.: Hannover, Univ., Fak. für Maschinenwesen, Diss., 1991 Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 9