Ein Beitrag zur Untersuchung der Elektronenstreuung und des Proximityeffektes an den Rändern inhomogener Strukturen bei der Elektronenstrahldirektbelichtung
Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp:
Buch;
Hochschulschrift
Titel:
Ein Beitrag zur Untersuchung der Elektronenstreuung und des Proximityeffektes an den Rändern inhomogener Strukturen bei der Elektronenstrahldirektbelichtung