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Medientyp: Buch Titel: Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication / P. Rai-Choudhury, ed 1, Microlithography Erschienen: Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Pr., 1997 Erschienen in: Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication / P. Rai-Choudhury, ed. ; 1 Institution of Electrical Engineers: IEE materials and devices series ; 12 SPIE: SPIE press monograph ; 39 Umfang: VIII, 768 S.; graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0819423785; 0852969066 Entstehung: RVK-Notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) ZM 9000 : Allgemeines Schlagwörter: Lithografie Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Institution of Electrical Engineers: IEE materials and devices series
Bestand der TU Dresden Signatur: 2007 4 006467 Barcode: 10732185N Status: Verfügbarkeit bitte in Biotechnologisches Zentrum BIOTEC erfragen.