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Medientyp: Buch Titel: Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication / P. Rai-Choudhury, ed 2, Micromachining and microfabrication Erschienen: Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Pr., 1997 Erschienen in: Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication / P. Rai-Choudhury, ed. ; 2 Institution of Electrical Engineers: IEE materials and devices series ; 12B SPIE: SPIE press monograph ; 40 Umfang: VIII, 692 S.; graph. Darst., Ill Sprache: Englisch ISBN: 0819423793; 0852969112 RVK-Notation: ZM 9000 : Allgemeines Entstehung: Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Institution of Electrical Engineers: IEE materials and devices series
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: R2024 4 212 Barcode: 10362763 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden Bereitstellung voraussichtlich: 1 - 2 Tage nach Bestellung