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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Störungssystematikbestimmte Instandhaltung in einem Wafertransportsystem Beteiligte: Niekisch, Torsten [VerfasserIn] Erschienen: 2001 Umfang: 102, XIII S.; Ill., graph. Darst; 1 CD-ROM Sprache: Deutsch RVK-Notation: ZG 9270 : Technische Zuverlässigkeit (Instandhaltung und Instandsetzung; Funktionssicherheit; Lebensdauer) Schlagwörter: Wafer > Transportsystem > Instandhaltung Wafer > Transportsystem > Störung > Wahrscheinlichkeitsverteilung Fördermittel > Instandhaltung > Reinraumtechnik > Toleranzanalyse > Qualitätssicherung Entstehung: Hochschulschrift: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2001 Anmerkungen:
Bereichsbibliothek DrePunct – Freihand Signatur: ZG 9270 N666 Barcode: 30627771 Ausgabe: Buch Status: Ausleihbar
Bereichsbibliothek DrePunct – Freihand Signatur: ZG 9270 N666 Barcode: 30627773 Ausgabe: Buch Status: Ausleihbar
Bereichsbibliothek DrePunct – Ausgabe über Ausleihtheke Signatur: 2001 8 037570 001 T2 Barcode: 30528645 Ausgabe: CD-ROM Status: Ausleihbar
Bereichsbibliothek DrePunct – Ausgabe über Ausleihtheke Signatur: 2001 8 037569 T2 Barcode: 31127692 Ausgabe: CD-ROM Status: Ausleihbar
Bereichsbibliothek DrePunct – Ausgabe über Ausleihtheke Signatur: 2001 8 037571 001 T2 Barcode: 30528647 Status: Ausleihbar
Bereichsbibliothek DrePunct – Freihand Signatur: ZG 9270 N666 Barcode: 30627772 Ausgabe: Buch Status: Benutzung nur im Haus, Versand per Fernleihe möglich