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Medientyp: CD-ROM; Hochschulschrift Titel: Das Verhalten der elektrischen Parameter beim bipolaren Puls-Magnetron-Sputtern am Beispiel von Zinn- und Zinkoxid Beteiligte: Krause, Uwe [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: 2002 Umfang: 1 CD-ROM; 12 cm Sprache: Deutsch RVK-Notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie Schlagwörter: Magnetronsputtern > Elektrische Eigenschaft > Zinkoxid Magnetronsputtern > Elektrische Eigenschaft > Zinkoxid Entstehung: Hochschulschrift: Magdeburg, Univ., Diss., 2001 Anmerkungen:
Bereichsbibliothek DrePunct – Ausgabe über Ausleihtheke Signatur: 2001 8 048832 Barcode: 30905066 Status: Ausleihbar