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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: MOCVD of high-K ceramic thin films for the Gbit DRAM technology Beteiligte: Fitsilis, Fotios [VerfasserIn] Erschienen: 2002 Umfang: IV, 136 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch RVK-Notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie Schlagwörter: Dynamisches RAM > Keramik > Dünne Schicht > MOCVD-Verfahren Entstehung: Hochschulschrift: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2002 Anmerkungen: Auch als: Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 4001