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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung Beteiligte: Güttler, Dominik [Verfasser:in] Erschienen: Dresden: Forschungszentrum Rossendorf, 2004 Erschienen in: Forschungszentrum Rossendorf: Wissenschaftlich-technische Berichte ; 411 Umfang: 90 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch RVK-Notation: UP 4600 : Dielektrische Eigenschaften, Dielektrika, Isolatoren Schlagwörter: Oberflächenstruktur > Kathode > Spritzen > Abscheidung > Dielektrische Schicht Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Dresden, FZ Rossendorf, Diplomarbeit, 2004 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Wissenschaftlich-technische Berichte
Zentralbibliothek – Magazin Signatur: 2004 4 002909 Barcode: 31138660 Status: Bestellen zur Benutzung im Haus, kein Versand per Fernleihe, nur Kopienlieferung > Bestellen möglich - bitte anmelden Bestellungen, die von Mo - Fr bis 13 Uhr eingehen, werden voraussichtlich am selben Tag für Sie bereitgestellt.