Proceedings of the Second International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Man… - SLUB Dresden

Medientyp: Buch; Konferenzbericht
Titel: Proceedings of the Second International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing : [held at the Electrochemical Society Fall Meeting in Phoenix, Arizona, October 14 - 18, 1992 (i.e. 1991!)]
Beteiligte: Rużyłło, Jerzy [Herausgeber:in]; Novak, Richard E. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]
Körperschaft: Electrochemical Society, Electronics Division ; Electrochemical Society, Dielectric Science and Technology Division
Erschienen: Pennington, NJ: Electrochemical Society, 1992
Erschienen in: Electrochemical Society: Proceedings volume ; 92,12
Umfang: XI, 502 S; Ill; 23 cm
Sprache: Englisch
ISBN: 1566770122
Schlagwörter: Semiconductors Cleaning Congresses ; Semiconductor ; Cleaning ; Congresses ; Konferenzschrift
Entstehung:
Anmerkungen: Sponsored jointly by the Electronics and Dielectric Science and Technology Divisions. - Literaturangaben
Weitere Bestandsnachweise
0 : Proceedings volume

Proceedings of the Second International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing