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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Ionenquelle mit radialer Anordnung der Anregungselektroden für reaktives Ionenstrahlätzen Beteiligte: Korzec, Dariusz [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verlag, 1993 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 160 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: XVIII, 182 S; graph. Darst; 21 cm Sprache: Deutsch ISBN: 3181460095 RVK-Notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie Schlagwörter: Ionenstrahlätzen > Hochfrequenzionenquelle Hochfrequenzionenquelle > Ionenstrahlätzen Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Wuppertal, Univ., Diss. Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 9