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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Integrierte Optik und Mikromechanik auf Silizium Beteiligte: Bezzaoui, Hocine [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verlag, 1993 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 163 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: 96 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Sprache: Deutsch ISBN: 3181463094 RVK-Notation: ZN 4970 : Integrierte Schaltungen für integrierte Optik, Akustooptik und Magnetooptik; Integrierte Mikrowellenschaltungen Schlagwörter: Streifenwellenleiter > Siliciumoxinitride > PECVD-Verfahren Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Dortmund, Univ., Diss Anmerkungen: Literaturverz. S. 90 - 96 Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 9