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Medientyp: Buch Titel: Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen Beteiligte: Vogt, Holger [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1993 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 167 Ausgabe: Als Ms. gedr Umfang: V, 155 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm Sprache: Deutsch ISBN: 318146709X RVK-Notation: ZN 4950 : Schaltungen der Grossintegration (LSI) Schlagwörter: LSI > Mehrschichtschaltung > CMOS > Metallisieren Entstehung: Anmerkungen: Literaturverz. S. 139 - 155 Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 9