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Wuu, Shou-Gwo [VerfasserIn] ; Müller, Jörg [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Bauhofer, Wofgang [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie

Laser induced lateral epitaxy on silicon-on-insulator - [Als Ms. gedr.]

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Medientyp: Buch; Hochschulschrift
Titel: Laser induced lateral epitaxy on silicon-on-insulator
Beteiligte: Wuu, Shou-Gwo [VerfasserIn]; Müller, Jörg [Doktorvater]; Bauhofer, Wofgang [Gutachter]
Körperschaft: Technische Universität Hamburg-Harburg, Arbeitsbereich Halbleitertechnologie
Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1992
Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 143
Ausgabe: Als Ms. gedr.
Umfang: VIII, 144 Seiten; Ill., graph. Darst; 21 cm
Sprache: Englisch
ISBN: 3181443093
Schlagwörter: SOI-Technik > Epitaxie > Laser
Flüssigphasenepitaxie > EBIC-Verfahren
Entstehung:
Hochschulschrift: Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss., 1992
Anmerkungen:
Weitere Bestandsnachweise
0 : Fortschrittberichte VDI / 9

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