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Medientyp:
Buch;
Konferenzbericht
Titel:
Dimensional measurements in the micro- and nanometre range
:
proceedings of the 5th Seminar on Quantitative Microscopy and 1st Seminar on Nanoscale Calibration Standards and Methods; NanoScale 2001; November 15th and 16th, 2001, Bergisch Gladbach, Germany