> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: Buch Titel: MEMS reliability Beteiligte: Hartzell, Allyson L. [VerfasserIn]; Da Silva, Mark G. [VerfasserIn]; Shea, Herbert R. [VerfasserIn] Erschienen: New York, NY; Heidelberg [u.a.]: Springer, c2011 Erschienen in: MEMS reference shelf Umfang: XIII, 291 S.; Ill., graph. Darst; 24 cm Sprache: Englisch ISBN: 9781441960177; 1441960171 RVK-Notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Schlagwörter: Microelectromechanical systems ; Reliability Entstehung: Anmerkungen: Formerly CIP Uk. - Includes bibliographical references and index