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Medientyp: Buch Titel: Principles of lithography Beteiligte: Levinson, Harry J. [VerfasserIn] Erschienen: Bellingham, Wash.: Spie Press, 2010 Erschienen in: SPIE: SPIE press monograph ; 198 Ausgabe: 3. ed. Umfang: XIV, 504 S.; Ill., graph Darst Sprache: Englisch ISBN: 9780819483249 RVK-Notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Schlagwörter: Lithografie Lithografie Integrierte Schaltung Lithografie Entstehung: Anmerkungen: Includes bibliographical references and index Weitere Bestandsnachweise 0 : SPIE press monograph
Bereichsbibliothek DrePunct – Freihand Signatur: ZN 4170 L665(3) Barcode: 32994810 Status: Ausleihbar