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Medientyp: Buch Titel: Fabrication engineering at the micro- and nanoscale Beteiligte: Campbell, Stephen A. [VerfasserIn] Erschienen: New York [u.a.]: Oxford Univ. Press, 2013 Erschienen in: Oxford series in electrical and computer engineering Ausgabe: 4. ed. Umfang: XIV, 671 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 9780199861224 Entstehung: RVK-Notation: ZN 4900 : Allgemeines Schlagwörter: Semiconductors Design and construction Anmerkungen: Includes bibliographical references and index
Bereichsbibliothek DrePunct – Freihand Signatur: ZN 4900 C191(4) Barcode: 33734966 Status: Ausleihbar