• Medientyp: Buch
  • Titel: Fabrication engineering at the micro- and nanoscale
  • Beteiligte: Campbell, Stephen A. [VerfasserIn]
  • Erschienen: New York [u.a.]: Oxford Univ. Press, 2013
  • Erschienen in: Oxford series in electrical and computer engineering
  • Ausgabe: 4. ed.
  • Umfang: XIV, 671 S.; Ill., graph. Darst
  • Sprache: Englisch
  • ISBN: 9780199861224
  • Entstehung:
  • RVK-Notation: ZN 4900 : Allgemeines
  • Schlagwörter: Semiconductors Design and construction
  • Anmerkungen: Includes bibliographical references and index

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