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Medientyp: Buch Titel: Low dielectric constant materials for IC applications Beteiligte: Ho, Paul S. [Hrsg.] Erschienen: Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2003 Erschienen in: Advanced microelectronics ; 9 Physics and astronomy online library Umfang: XIX, 309 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 3540678190 Entstehung: RVK-Notation: ZN 3400 : Allgemeines UP 3100 : Halbleitermaterialien, Allgemeines UP 4600 : Dielektrische Eigenschaften, Dielektrika, Isolatoren Schlagwörter: Integrierte Schaltung > Werkstoff > Dielektrische Eigenschaft Integrierte Schaltung > Werkstoff > Dielektrische Eigenschaft > Aufsatzsammlung Anmerkungen: Literaturangaben Weitere Bestandsnachweise 0 : Advanced microelectronics