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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Optimierung des chemisch-mechanischen Polierens von Siliziumwafern mittels stochastischer Modelle Beteiligte: Wiegand, Susanne [VerfasserIn] Erschienen: 2007 Erschienen in: Freiberger Dissertationen OnLine ; 348 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Wafer > Polieren > Stochastische Geometrie > Zufälliges Feld > Zufällige Menge Entstehung: Hochschulschrift: Freiberg, TU Bergakademie, Diss., 2007 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang