• Medientyp: Buch; Hochschulschrift
  • Titel: Excimerlasergestützte Technologien für die Mikroelektronik
  • Beteiligte: Spieß, Walter [VerfasserIn]
  • Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1989
  • Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 96
  • Ausgabe: Als Ms. gedr.
  • Enthält:
  • Umfang: III, 142 S.; Ill., graph. Darst
  • Sprache: Deutsch
  • ISBN: 318149609X
  • Entstehung:
  • Schlagwörter: Halbleitertechnologie > Excimerlaser
  • Anmerkungen:
  • Weitere Bestandsnachweise
    0 : Fortschrittberichte VDI / 9

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  • Signatur: 3038.8.2441
  • Barcode: 31527694
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