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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Excimerlasergestützte Technologien für die Mikroelektronik Beteiligte: Spieß, Walter [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1989 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 96 Ausgabe: Als Ms. gedr. Enthält: Umfang: III, 142 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 318149609X Entstehung: Schlagwörter: Halbleitertechnologie > Excimerlaser Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 9
Bereichsbibliothek DrePunct – Außenmagazin Signatur: 3038.8.2441 Barcode: 31527694 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden