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Medientyp: Buch Titel: Handbook of semiconductor silicon technology Beteiligte: O'Mara, William C. [Hrsg.] Erschienen: Park Ridge, NJ: Noyes, 1990 Erschienen in: Materials science and process technology series Umfang: XX, 795 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0815512376 RVK-Notation: UP 3100 : Halbleitermaterialien, Allgemeines Schlagwörter: Halbleiterwerkstoff > Silicium Entstehung: Anmerkungen: