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Medientyp: E-Artikel Titel: Direct polymer microcantilever fabrication from free-standing dry film photoresists Beteiligte: Nilsen, Madeleine [Verfasser:in]; Dannberg, Oliver [Verfasser:in]; Fröhlich, Thomas [Verfasser:in]; Strehle, Steffen [Verfasser:in] Erschienen: 2020 Erschienen in: Journal of micromechanics and microengineering ; 30(2020), 9, Artikel-ID 095012, Seite 1-13 Sprache: Englisch DOI: 10.1088/1361-6439/ab9e4c Identifikator: Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang Rechte-/Nutzungshinweise: Namensnennung (CC BY)