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Forke, Roman [VerfasserIn]; Kurth, Steffen [VerfasserIn]; Shaporin, Alexey [VerfasserIn]; Streit, Petra [VerfasserIn]; Wünsch, Dirk [VerfasserIn]; Hiller, Karla [VerfasserIn]; Hahn, Susann [VerfasserIn]; Weidlich, Sebastian [VerfasserIn] ; Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme

Abschlussbericht für das durch das BMBF geförderte Verbundprojekt: Modulare Technologieplattform für hochkompakte Inertialsensoren mit integrierter Schaltungstechnik - KoliBriS, Teilvorhaben: Entwicklung und Fertigung innovativer MEMS-Module

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  • Medientyp: E-Book
  • Titel: Abschlussbericht für das durch das BMBF geförderte Verbundprojekt: Modulare Technologieplattform für hochkompakte Inertialsensoren mit integrierter Schaltungstechnik - KoliBriS, Teilvorhaben: Entwicklung und Fertigung innovativer MEMS-Module
  • Weitere Titel: Abweichender Titel: Verbundprojekt: KoliBriS - Teilvorhaben: Entwicklung und Fertigung innovativer MEMS-Module (Optimierung und Implementierung innovativer Entwurfs- und Fertigungstechnologien
    Titel auf dem deutschen Berichtsblatt: Abschlussbericht: Modulare Technologieplattform für hochkompakte Inertialsensoren mit integrierter Schaltungstechnik - KoliBriS - Entwicklung und Fertigung innovativer MEMS-Module
    Titel auf dem englischen Berichtsblatt: Final report: Modular technology platform for highly compact inertial sensors with integrated circuit - KoliBriS - development and fabrication of innovative MEMS modules
  • Beteiligte: Forke, Roman [VerfasserIn]; Kurth, Steffen [VerfasserIn]; Shaporin, Alexey [VerfasserIn]; Streit, Petra [VerfasserIn]; Wünsch, Dirk [VerfasserIn]; Hiller, Karla [VerfasserIn]; Hahn, Susann [VerfasserIn]; Weidlich, Sebastian [VerfasserIn]
  • Körperschaft: Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme
  • Erschienen: Chemnitz: Fraunhofer Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS, 7. April 2020
  • Umfang: 1 Online-Ressource (50 Seiten, 5,29 MB); Illustrationen, Diagramme
  • Sprache: Deutsch
  • DOI: 10.2314/KXP:1727460979
  • Identifikator:
  • Schlagwörter: Forschungsbericht
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: Förderkennzeichen BMBF 16ES0530
    Verbundnummer 01172978
    Laufzeit des Vorhabens: 01.08.2016-31.10.2019, Berichtszeitraum: 01.08.2016-31.10.2019
    Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
    Sprache der Zusammenfassung: Deutsch, Englisch
  • Zugangsstatus: Freier Zugang