Winkler, Felix
[VerfasserIn]
;
Bartha, Johann W.
[AkademischeR BetreuerIn];
Wenger, Christian
[AkademischeR BetreuerIn]Technische Universität Dresden
Through silicon via field-effect transistor with Hafnia-based ferroelectrics and the doping of silicon by Gallium implantation utilizing a focused ion beam system
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Medientyp:
Buch;
Hochschulschrift
Titel:
Through silicon via field-effect transistor with Hafnia-based ferroelectrics and the doping of silicon by Gallium implantation utilizing a focused ion beam system