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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: PECVD-Prozesse mittels Hohlkathodenglimmentladung Beteiligte: Hellmich, Anke [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1997 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 3 ; 507 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: VII, 111 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 318350703X Schlagwörter: Kohlenwasserstoffe > PECVD-Verfahren > Hohlkathodenentladung > Dünne Schicht > Amorpher Zustand > Tribologie Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1997 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 3