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Medientyp: Buch Titel: Semiconductor lithography : principles, practices, and materials Beteiligte: Moreau, Wayne M. [VerfasserIn] Erschienen: New York, NY [u.a.]: Plenum Pr., 1988 Erschienen in: Microdevices Umfang: XX, 931 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0306421852 RVK-Notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Schlagwörter: Lithografie Entstehung: Anmerkungen:
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: 0989 00418 001 Barcode: 30809318 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden