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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Struktur und Chemie technologischer Siliciumoberflächen Beteiligte: Pietsch, Georg J. [Verfasser:in] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1992 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 148 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: VIII, 156 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3181448095 RVK-Notation: UP 7570 : Halbleiter-Schichten Schlagwörter: Siliciumbauelement > Oberfläche > Veredelung > Elektronische Eigenschaft Silicium > Oberfläche Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1992 Anmerkungen: Literaturverz. S. 147 - 156 Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 9