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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: CMOS-kompatibler kapazitiver Siliziumdrucksensor in Oberflächenmikromechanik Beteiligte: Kandler, Michael [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1993 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 175 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: XIII, 133 S.; graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3181475092 RVK-Notation: ZQ 3750 : Wägung, Dichtemessung, Viskosimetrie Schlagwörter: Drucksensor > Siliciumbauelement > CMOS-Schaltung Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Duisburg, Univ. - Gesamthochsch., Diss Anmerkungen: Literaturverz. S. 131 - 133 Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 9