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Medientyp: Buch Titel: Principles of plasma discharges and materials processing Beteiligte: Lieberman, Michael A. [VerfasserIn]; Lichtenberg, Allan J. [VerfasserIn] Erschienen: New York, NY [u.a.]: Wiley, 1994 Erschienen in: A Wiley-Interscience publication Umfang: XXVI, 572 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0471005770 RVK-Notation: UR 8000 : Plasmaphysik allgemein Schlagwörter: Plasmadynamik Plasmachemie Plasmaätzen Plasmadynamik > Dünnschichttechnik > Plasmastrahlbearbeitung > Plasmaätzen Entstehung: Anmerkungen: Includes bibliographical references (S. 559 - 564) and index