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Medientyp: Buch; Konferenzbericht Titel: Reinraumtechnik '99 : molekulare Kontamination, Qualifizierung und Messtechnik, Systemoptimierung ; Tagung Nürnberg, 23. und 24. September 1999 Körperschaft: Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1999 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte ; 1482 Umfang: 171 S; zahlr. Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3180914823 RVK-Notation: ZM 8360 : Reinigen Schlagwörter: Reinraumtechnik Entstehung: Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : VDI-Berichte