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Medientyp: Buch Titel: Micro and nanomanufacturing Enthält: Literaturverz. S. 684 - 685 Beteiligte: Jackson, Mark J. [VerfasserIn] Erschienen: New York, NY: Springer, 2007 Umfang: X, 699 S.; Ill., graph. Darst; 24 cm Sprache: Englisch ISBN: 0387258744; 9780387258744 RVK-Notation: ZN 3700 : Mikromechanik (hier auch Nanotechnologie) Schlagwörter: Nanotechnologie > Mikrofertigung Entstehung: Anmerkungen: Includes bibliographical references and index