Hildering, Sven
[VerfasserIn]
;
Merklein, Marion
[AkademischeR BetreuerIn];
Merklein, Marion
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft];
Schmidt, Michael
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft]
Grundlegende Untersuchungen zum Prozessverhalten von Silizium als Werkzeugwerkstoff für das Mikroscherschneiden metallischer Folien