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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Dynamische Regelung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) mit Hilfe kapazitiver Signalwandlung und Kraftrückkoppelung Beteiligte: Handtmann, Martin [Verfasser] Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Entstehung: Schlagwörter: MEMS > Drehratensensor > Kapazitiver Sensor > Regelungssystem > Coriolis-Kraft > Sigma-Delta-Wandler Anmerkungen: Provenienzangaben: Zugangsstatus: Freier Zugang