• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: High Resolution Optical Surface Investigation based on Heterodyne Interferometry
  • Beteiligte: Spannagel, Ruven; Schuldt, Thilo; Braxmaier, Claus
  • Erschienen: Informa UK Limited, 2012
  • Erschienen in: International Journal of Optomechatronics, 6 (2012) 3, Seite 264-274
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1080/15599612.2012.709312
  • ISSN: 1559-9612; 1559-9620
  • Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Mechanical Engineering ; Instrumentation
  • Entstehung:
  • Anmerkungen:
  • Zugangsstatus: Freier Zugang