• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: The interaction of stoichiometry, mechanical stress, and interface trap density in LPCVD Si-rich SiNx;Si structures
  • Beteiligte: Witczak, Steven C.; Gaitan, Michael; Suehle, John S.; Peckerar, Martin C.; Ma, David I.
  • Erschienen: Elsevier BV, 1994
  • Erschienen in: Solid-State Electronics, 37 (1994) 10, Seite 1695-1704
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/0038-1101(94)90216-x
  • ISSN: 0038-1101
  • Schlagwörter: Materials Chemistry ; Electrical and Electronic Engineering ; Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: